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《光电技术与系统文选——中国光学学会光电技术专业委员会成立二十周年暨第十一届全国光电技术与系统学术会议论文集》2005年
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基于修正相移技术的激光自混合干涉仪

王鸣  郭冬梅  
【摘要】:提出了一种新型的基于修正相移技术的自混合干涉仪,由置于外腔中的电光晶体对激光束的相位进行峰峰值为π的三角波调制。激光束的相位解调由五步Schwider-Hariharan算法结合特定的采样技术得到。应用这种新型的自混合干涉仪对高精度的商用PZT的微小运动进行了重构,得到了纳米级的位移测量精度。该干涉仪的测量范围主要依赖于电光晶体的最大调制频率和D/A卡的最大采样频率。

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