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《光电技术与系统文选——中国光学学会光电技术专业委员会成立二十周年暨第十一届全国光电技术与系统学术会议论文集》2005年
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检测非球面面形的菲索干涉仪部分补偿器设计

孙丹  沙定国  苏大图  
【摘要】:用部分补偿的方法来检测非球面面形可以大大简化补偿器的设计难度,并且能够实现用同一个部分补偿器来检测一定范围内不同参数的非球面面形。在已经实现的泰曼-格林干涉仪部分补偿测量二次曲面面形的基础上,提出用于菲索型干涉仪的部分补偿器的设计原则、设计方法以及数据处理方法。以扩展现有菲索型干涉仪的功能,并将此方法应用到一定非球面度范围内的高次非球面面形测量中。给出了设计实例。

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