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《光电技术与系统文选——中国光学学会光电技术专业委员会成立二十周年暨第十一届全国光电技术与系统学术会议论文集》2005年
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双频激光干涉仪在曲率半径测试中的应用

何川  林家明  沙定国  纪荣  
【摘要】:在ZYGO干涉仪上配上长滑动导轨,扩展其曲率半径测量功能,分别对球心和顶点干涉定位,(定位误差3μm,与相对孔径相关),利用双频激光干涉仪测量被测物体移动的距离即曲率半径值,(测长误差lppm),实现高精度、方便快捷和非接触式曲率半径测量。测量范围:凹面R1200;凸面R300.测量精度超过到十万分之一,绝对误差小于3μm(与被测件相对孔径相关)。

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【引证文献】
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1 金雪;基于图像分析的光学参数测试技术研究[D];西安工业大学;2012年
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