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椭偏测厚仪数据处理软件设计

黄佐华  吴雪忠  何振江  杨冠玲  
【摘要】:以C语言为开发工具,成功设计和编制一套椭偏测厚仪数据处理软件,它具有求解透明膜厚度、折射率和金属复折射率以及绘制(n,d)~(Ψ,?)列线图的功能。可以配合常规椭偏仪使用,扩展测量膜厚范围,提高测量和求解精度,增加实验内容。实验测试了硅衬底和玻璃衬底表面薄膜的厚度和折射率,并与国外仪器和文献比较,得到相近的结果。实验表明:本软件的求解结果是准确的和可靠的,求解膜厚和折射率精度分别达到0.01nm和0.001.

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