中心遮拦(Obscuration)对157nm光刻性能的影响

【摘要】：中心遮拦对157nm光刻性能的影响值得研究。本文通过光刻仿真软件PROLITH中的向量衍射模型对影响进行定性分析。仿真试验主要针对于大数值孔径的情况,将传统照明、离轴照明(OAI)和相移掩模(PSM)应用于密集线条、孤立线条以及密集接触孔以确定中心遮拦的影响。结果显示:1)中心遮拦范围小于或等于10%时对光刻性能的影响较小;2)中心遮拦对孤立线条的影响比密集线条和密集接触孔明显;3)中心遮拦范围等于20%时,交替型相移掩模不再适用。

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前20条

1	彭祎帆;袁波;曹向群;;光刻机技术现状及发展趋势[J];光学仪器;2010年04期
2	谢丁杰;李铁成;冯华君;李晓彤;徐之海;;卡塞格林光学遥感系统的图像复原[J];光学学报;2011年06期
3	沈熙磊;;芯片制造三巨头的次世代光刻技术战略对比分析[J];半导体信息;2011年02期
4	盛壮;唐小萍;胡松;李兰兰;谢飞;李金龙;徐锋;;基于模糊PID的光刻机同步扫描控制[J];微纳电子技术;2011年09期
5	沈熙磊;;英特尔公司称EUV光刻技术的发展赶不上其工艺进展的步伐[J];半导体信息;2011年02期
6	;探索新结构平面电机加快IC产业发展步伐[J];科技传播;2011年15期
7	;探索新结构平面电机加快IC产业发展步伐[J];硅谷;2011年14期
8	齐克奇;;光刻机投影物镜安装方式研究[J];光机电信息;2011年08期
9	武志鹏;陈兴林;刘川;;光刻机工件台宏微系统的滑模变结构控制[J];光电工程;2011年09期
10	;[J];;年期
11	;[J];;年期
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18	;[J];;年期
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中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	徐彧;李艳秋;;中心遮拦(Obscuration)对157nm光刻性能的影响[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年
2	何峰;吴志明;王军;袁凯;蒋亚东;;衬底材料对光刻机对准精度的影响研究[A];2009年先进光学技术及其应用研讨会论文集（上册）[C];2009年
3	陈晖;陈文昱;傅新;;浸没式光刻机浸液控制技术研究[A];中国机械工程学会流体传动与控制分会第六届全国流体传动与控制学术会议论文集[C];2010年
4	滕伟;柳亦兵;;扫描光刻机硅片台五自由度激光测量模型[A];第二十九届中国控制会议论文集[C];2010年
5	黄国胜;李艳秋;;掩模台和承片台的运动标准偏差对ArF光学成像质量的影响[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年
6	刘克;李艳秋;刘景峰;;带有分割遮拦环形干涉图的波面拟合[A];第二届红外成像系统仿真测试与评价技术研讨会论文集[C];2008年
7	宋登元;;X射线光刻技术的进展及问题[A];现代光学制造技术论文集[C];2002年
8	陈宝振;顾永俶;;X射线通过圆柱型空心导管传输时的理论研究[A];第四届全国光学前沿问题研讨会论文摘要集[C];1999年
9	李旸晖;沈伟东;章岳光;刘旭;顾培夫;;基于Jones矩阵的薄膜诱导偏振像差分析[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年
10	;提高三结砷化镓太阳电池单片转换效率[A];QCC—开发潜能和谐提升——2010年度电子信息行业优秀质量管理小组成果、质量信得过班组经验专集[C];2010年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	陈晖;浸没式光刻机浸液流动特性及其对物镜影响[D];浙江大学;2011年
2	刘巍;基于灵敏度解析函数的光刻机波像差检测理论与方法研究[D];华中科技大学;2011年
3	张红霞;用于微表面形貌检测的纳米级白光相移干涉研究及仪器化[D];天津大学;2004年
4	王延风;磁悬浮精密定位工作台机电一体化CAD/CAE集成研究[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2004年
5	邓习树;步进扫描光刻机模拟隔振试验平台主动减振系统研究[D];中南大学;2007年
6	宋文荣;微电子制芯领域中磁悬浮精密定位平台的研究[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2004年
7	赵阳;深紫外光刻复杂照明光学系统设计[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2010年
8	朱涛;极紫外光刻机工件台精密机械及控制相关技术[D];中国科学院研究生院（电工研究所）;2006年
9	姜伟;基于约束拓扑变换的大规模复杂多刚体系统振动分析[D];华中科技大学;2008年
10	廖飞红;精密运动台主动减振与重力补偿技术的研究[D];华中科技大学;2012年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	王红光;光刻机温度控制装置的设计与实现[D];华东理工大学;2011年
2	王绍腾;光刻机双驱动微动台动态特性仿真研究[D];哈尔滨工业大学;2011年
3	曾毅;光刻机精密水温控制系统的热结构设计[D];电子科技大学;2012年
4	邹鹏程;光刻机粗精耦合及同步控制算法研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
5	赵金余;光刻机浸没单元的流场检测与结构优化[D];浙江大学;2011年
6	丛志浩;光刻机六自由度工件台控制系统设计[D];哈尔滨工业大学;2011年
7	刘振;Small Tools结构设计与分析[D];吉林大学;2011年
8	周沛;光刻机运动平台功率放大控制卡的设计与实现[D];华中科技大学;2011年
9	沈祖宏;环境因素及控制方法研究[D];上海交通大学;2012年
10	耿长青;工件台掩膜台运动控制卡设计及同步方法研究[D];哈尔滨工业大学;2011年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	李陈续;国产首台亚微米无掩膜光刻机通过鉴定[N];光明日报;2008年
2	范竹标郭明;我国首台亚微米无掩膜光刻机在合肥面世[N];中国质量报;2008年
3	本报记者郝玲张骅通讯员张和允;洋技术能否打造中国“芯”[N];中国企业报;2007年
4	朱磊;我国首台精密光刻机问世[N];人民日报;2008年
5	哲一;芯硕半导体：亚微米级光刻机“合肥造”[N];中国电子报;2008年
6	刘爽;中科院光电所研制出新型光刻机[N];中国企业报;2008年
7	记者李鑫北京;国内首台自主知识产权光刻机将在合肥面世[N];电子资讯时报;2007年
8	潘峰;安徽：国产首台直写式光刻机问世[N];中国电子报;2008年
9	记者涂亚卓通讯员舒扬;武汉芯片厂精心迎接亿元设备[N];湖北日报;2008年
10	王琴;长电科技打造世界领先封测企业[N];无锡日报;2010年

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