收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

位置敏感元件在静电悬浮技术中的应用

何玉琳  章海军  
【摘要】:本文简要介绍了以磁悬浮和气悬浮为代表的传统悬浮技术,分析了其局限性,提出了光电反馈式静电悬浮的新方法,说明了实时测距在静电悬浮中的重要性,解释了光学三角法和位置敏感器件的工作原理,并介绍了在此基础上研制的新型实时测距系统,给出了该系统的光路设计和后续处理电路设计。通过一个实验,绘制了该系统的输出电压曲线,测定了其灵敏度和工作范围等性能。结论表明,该系统结构简单,易于集成,且能够很好的满足静电悬浮系统对实时测距的要求。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 肖鹏东,文伟宁,周兆英;基于光学三角法的非接触测量技术及应用[J];中国仪器仪表;1995年03期
2 李宝清,陆德仁,熊斌,卢平芳,何国鸿,鲍敏杭,王渭源;微型静电悬浮Z向加速度计的计算机模拟[J];功能材料与器件学报;1996年03期
3 周会成,陈吉红,周济;光学三角法全视场自扫描测头的设计与研究[J];仪器仪表学报;2000年05期
4 杨再华,李玉和,李庆祥,段瑞玲,郭阳宽;一种基于光学三角法的形貌测量系统[J];光学技术;2005年04期
5 秦俊,陈颖,俞朴;用于管道内表面自动无损检测的光学技术[J];机械制造;2001年04期
6 李集田;煤堆体积检测仪精度分析[J];光学精密工程;1993年06期
7 王晓东,赵杰,蔡鹤皋;使用PSD设计非接触测距传感器及其性能分析[J];哈尔滨工业大学学报;1996年04期
8 陈颖,俞朴;用于管道内表面自动无损检测的光学技术[J];计量技术;2000年06期
9 张亮;陆秋海;;静电悬浮式电容差分加速度计测量原理与动特性设计[J];振动与冲击;2008年09期
10 王嫘;韩丰田;董景新;刘云峰;;三轴硅微静电加速度计的实验研究[J];中国惯性技术学报;2011年03期
11 陈光锋;唐富荣;薛大同;;静电悬浮加速度计气体阻尼及其对控制系统特性影响分析[J];真空与低温;2005年04期
12 库少平;严鹤;胡业发;周祖德;;水平方向静电悬浮系统的数学模型与仿真[J];武汉大学学报(工学版);2006年04期
13 吴黎明;董景新;韩丰田;;静电悬浮加速度计检测线路设计及实验研究[J];仪器仪表学报;2006年12期
14 宋仁旺;陈琳英;;静电悬浮加速度计关键技术剖析[J];计算机工程与应用;2009年34期
15 段光武;韩丰田;付真斌;;六轴硅微静电加速度计的悬浮回路设计[J];中国惯性技术学报;2010年02期
16 刘云峰;丁衡高;董景新;;静电悬浮微机械加速度计设计[J];清华大学学报(自然科学版);2007年02期
17 商大伟;解则晓;王浩元;常文静;;一种线结构光自扫描测量系统的研究[J];机电工程;2010年10期
18 李胜利,金泰义,徐育,胡跃全;激光测微仪的研制及其最新进展[J];现代科学仪器;1995年04期
19 邓任远;光学三角法在大面积体积测量中的应用[J];光学精密工程;1994年04期
20 ;微电子学、集成电路[J];中国无线电电子学文摘;1997年01期
中国重要会议论文全文数据库 前5条
1 何玉琳;章海军;;位置敏感元件在静电悬浮技术中的应用[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年
2 张亮;陆秋海;;静电悬浮式电容差分加速度计测量原理与动特性设计[A];第九届全国振动理论及应用学术会议论文摘要集[C];2007年
3 张亮;陆秋海;;静电悬浮式电容差分加速度计测量原理与动特性设计[A];第九届全国振动理论及应用学术会议论文集[C];2007年
4 宋长福;严小军;韩丰田;郭晓芳;马高印;;硅微静电悬浮加速度计关键技术研究[A];微机电惯性技术的发展现状与趋势——惯性技术发展动态发展方向研讨会文集[C];2011年
5 白彦峥;周泽兵;;高精度静电悬浮加速度计的地面测试方法研究[A];微机电惯性技术的发展现状与趋势——惯性技术发展动态发展方向研讨会文集[C];2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 赵世强;CCD光电式测厚仪及其系统的研究[D];燕山大学;2003年
2 周红锋;光学三角法测量小角度的研究[D];昆明理工大学;2006年
3 张华;基于PSD的测距系统研究[D];浙江大学;2005年
4 段光武;星载硅微静电加速度计的设计与噪声分析[D];清华大学;2010年
5 刘晓亚;基于光学三角法的微透镜基片厚度测量电路系统研究[D];华中科技大学;2007年
6 齐奎洲;基于PSD的光电位移测量系统设计[D];哈尔滨工业大学;2011年
7 秦愿;六轴静电悬浮微加速度计的控制系统研究[D];上海交通大学;2011年
8 万镇;六轴静电悬浮微加速度计的设计及系统级仿真[D];上海交通大学;2012年
9 邬明慧;基于线阵CCD的非接触微位移测量系统研究[D];长春理工大学;2011年
10 隋卫平;高精度实时超声测距技术研究[D];国防科学技术大学;2003年
中国知网广告投放
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978