位置敏感元件在静电悬浮技术中的应用
【摘要】：本文简要介绍了以磁悬浮和气悬浮为代表的传统悬浮技术,分析了其局限性,提出了光电反馈式静电悬浮的新方法,说明了实时测距在静电悬浮中的重要性,解释了光学三角法和位置敏感器件的工作原理,并介绍了在此基础上研制的新型实时测距系统,给出了该系统的光路设计和后续处理电路设计。通过一个实验,绘制了该系统的输出电压曲线,测定了其灵敏度和工作范围等性能。结论表明,该系统结构简单,易于集成,且能够很好的满足静电悬浮系统对实时测距的要求。
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| 1 |
肖鹏东，文伟宁，周兆英;基于光学三角法的非接触测量技术及应用[J];中国仪器仪表;1995年03期 |
| 2 |
李宝清，陆德仁，熊斌，卢平芳，何国鸿，鲍敏杭，王渭源;微型静电悬浮Z向加速度计的计算机模拟[J];功能材料与器件学报;1996年03期 |
| 3 |
周会成,陈吉红,周济;光学三角法全视场自扫描测头的设计与研究[J];仪器仪表学报;2000年05期 |
| 4 |
杨再华,李玉和,李庆祥,段瑞玲,郭阳宽;一种基于光学三角法的形貌测量系统[J];光学技术;2005年04期 |
| 5 |
秦俊,陈颖,俞朴;用于管道内表面自动无损检测的光学技术[J];机械制造;2001年04期 |
| 6 |
李集田;煤堆体积检测仪精度分析[J];光学精密工程;1993年06期 |
| 7 |
王晓东，赵杰，蔡鹤皋;使用PSD设计非接触测距传感器及其性能分析[J];哈尔滨工业大学学报;1996年04期 |
| 8 |
陈颖,俞朴;用于管道内表面自动无损检测的光学技术[J];计量技术;2000年06期 |
| 9 |
张亮;陆秋海;;静电悬浮式电容差分加速度计测量原理与动特性设计[J];振动与冲击;2008年09期 |
| 10 |
王嫘;韩丰田;董景新;刘云峰;;三轴硅微静电加速度计的实验研究[J];中国惯性技术学报;2011年03期 |
| 11 |
陈光锋;唐富荣;薛大同;;静电悬浮加速度计气体阻尼及其对控制系统特性影响分析[J];真空与低温;2005年04期 |
| 12 |
库少平;严鹤;胡业发;周祖德;;水平方向静电悬浮系统的数学模型与仿真[J];武汉大学学报(工学版);2006年04期 |
| 13 |
吴黎明;董景新;韩丰田;;静电悬浮加速度计检测线路设计及实验研究[J];仪器仪表学报;2006年12期 |
| 14 |
宋仁旺;陈琳英;;静电悬浮加速度计关键技术剖析[J];计算机工程与应用;2009年34期 |
| 15 |
段光武;韩丰田;付真斌;;六轴硅微静电加速度计的悬浮回路设计[J];中国惯性技术学报;2010年02期 |
| 16 |
刘云峰;丁衡高;董景新;;静电悬浮微机械加速度计设计[J];清华大学学报(自然科学版);2007年02期 |
| 17 |
商大伟;解则晓;王浩元;常文静;;一种线结构光自扫描测量系统的研究[J];机电工程;2010年10期 |
| 18 |
李胜利,金泰义,徐育,胡跃全;激光测微仪的研制及其最新进展[J];现代科学仪器;1995年04期 |
| 19 |
邓任远;光学三角法在大面积体积测量中的应用[J];光学精密工程;1994年04期 |
| 20 |
;微电子学、集成电路[J];中国无线电电子学文摘;1997年01期 |
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