位置敏感元件在静电悬浮技术中的应用
【摘要】:本文简要介绍了以磁悬浮和气悬浮为代表的传统悬浮技术,分析了其局限性,提出了光电反馈式静电悬浮的新方法,说明了实时测距在静电悬浮中的重要性,解释了光学三角法和位置敏感器件的工作原理,并介绍了在此基础上研制的新型实时测距系统,给出了该系统的光路设计和后续处理电路设计。通过一个实验,绘制了该系统的输出电压曲线,测定了其灵敏度和工作范围等性能。结论表明,该系统结构简单,易于集成,且能够很好的满足静电悬浮系统对实时测距的要求。
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