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《大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集》2004年
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一种二元整形元件激光直写方法的实验研究

陈林森  邵洁  王雪辉  徐兵  解剑峰  沈雁  
【摘要】:为了实现具有复杂位相结构的二元光束整形元件的光刻,提出一种采用方光点的激光直写系统来逐点光刻浮雕位相结构的方法,通过双远心投影缩微光路获得5-20μ方点,光刻点尺寸对应于最小位相单元,从而实现了位相结构的高质量直写。分析了高斯光点和方点位相单元结构对二元整形元件衍射效率的影响,方形点两台阶二元整形元件的+1级衍射效率达到31%,给出了实验结果。

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