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一种微加工型数字式可调光衰减器

鲍俊峰  曹钟慧  吴兴坤  
【摘要】:设计了一种非硅基底MOEMS可变光衰减器。该器件以电磁线圈驱动齿轮/齿条啮合机构,带动偏心轮,从而移动挡光片调节光衰减量,使其光衰减系数实现了数字化电控调节。对器件的插入损耗以及微驱动机构性能的分析表明,本设计方案在理论上是切实可行的。

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