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《全国第十一次光纤通信暨第十二届集成光学学术会议(OFCIO’2003)论文集》2003年
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DFB-LD的光栅干法刻蚀研究

罗飚  沈坤  阳洪涛  谈春雷  
【摘要】:在光栅的制作中有两种方法:一个是湿法,另一个是干法。由于DFB激光器的光栅用湿法腐蚀的方法有很多缺点,我们就采用了干法腐蚀在InP和InGaAsP上做实验。本文介绍一种新的方法,SiN作掩蔽模用全息光刻,反应离子刻蚀的方法作光栅,经过摸索,做出了比较好的一级光栅。

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