收藏本站
《2005年中国科协学术年会论文集第8分会场光固化与数字成像技术及其应用论文集》2005年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

重氮树脂感光膜上铜无电沉积——制备铜膜、铜膜图像和铜膜空心球

曹维孝  张茂峰  丛海林  
【摘要】:正无电沉积(Electroless deposition,ELD)制备金属铜膜及有关图像,在微电子线路版制备及平板显示技术等方面有重要意义,近年有很大发展。用这一技术制备金属薄膜,与传统的等离子体气相沉积(PCD)、化学气相沉积(CVD)、电镀等技术相比,工艺简单,成本低,可以在陶瓷,高分子等非导体表面,甚至复杂的形体表面完成均一沉积,因而受到特别的重视。本文报道在单层
【作者单位】:北京大学化学学院 北京大学化学学院 北京大学化学学院
【分类号】:TB383.2

免费申请
【相似文献】
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 曹维孝;张茂峰;丛海林;;重氮树脂感光膜上铜无电沉积——制备铜膜、铜膜图像和铜膜空心球[A];2005年中国科协学术年会论文集第8分会场光固化与数字成像技术及其应用论文集[C];2005年
中国知网广告投放
相关机构
>北京大学化学学院
相关作者
>曹维孝 >丛海林
>张茂峰
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026