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《2010全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集》2010年
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靶流对磁控溅射CrN金属双极板耐腐蚀性能的影响

谭俊  邢汝鑫  钱耀川  
【摘要】:采用磁控溅射工艺,在304不锈钢表面沉积CrN薄膜。分析了不同靶电流对膜层表面形貌和相结构的影响,测试其接触电阻及耐腐蚀性能。结果表明:表面改性后的不锈钢双极板导电性良好,在质子交换膜燃料电池电堆的组装力范围内,与Toray碳纸的接触电阻为22.65—24mΩ/cm~2。双极板的耐腐蚀性能相对于未处理的304不锈钢基体有了显著的增强:在80℃的0.05mol/L H_2SO_4+2mg/LF~-的模拟电池环境腐蚀溶液中,改性后双极板的腐蚀电流为0.5×10~(-6)A/cm~2,比304不锈钢小1个数量级。X射线衍射分析表明:涂层相组成主要为CrN(200),(220)和(311)峰。
【作者单位】:装备再制造技术国防科技重点实验室
【基金】:军队科研计划项目
【分类号】:TM911.4

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