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氩离子注入的聚酰亚胺表面沉积的合金膜的结合力

张济忠  冉杰  周宏余  
【摘要】:用2 keV的氩离子对聚酰亚胺进行表面注入,注入剂量分别为5×10~(11)、1×10~(12)、和3×10~(12)ions/cm~2。氩离子注入后,用原子力显微镜分析聚酰亚胺表面的形貌变化。然后用离子溅射镀膜法,在聚酰亚胺表面均匀地沉积一层Ti-Cr合金膜,用台阶仪、SEM等进行测试分析。结果表明,该合金膜的厚度为186 nm,膜表面平整,无缺陷。对该合金膜的结合力,采用常规的方法进行测试,其结合力为0.82 kg/cm~2。然后将试样加热到120℃,保温144小时后,其结合力为0.80 kg/cm~2。结合力的测试表明,该合金膜与聚酰亚胺的结合强度比较高,在经过六天的热疲劳试验后,仍然能够保持较高的结合力。

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