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《2006全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集》2006年
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采用磁过滤阴极弧沉积技术制备含Ti类金刚石薄膜的研究

张旭  王耀辉  吴先映  李强  张荟星  张孝吉  
【摘要】:采用磁过滤阴极弧沉积技术以金属Ti为阴极在真空室中加入C2H2气体来制备含 Ti类金刚石薄膜,研究不同的过滤弯管磁场和在有过滤磁场存在条件下不同的 C2H2气压对含Ti类金刚石薄膜的成分和组织结构的影响规律。实验结果表明:薄膜是由TiC和类金刚石两种结构组成的复合薄膜。C2H2气压和过滤弯管电流都对含Ti类金刚石薄膜的成分和组织结构有显著的影响。增加C2H2气压和过滤弯管电流都使薄膜中Ti元素的原子百分含量逐渐下降,C元素的原子百分含量逐渐增加,TiC峰强度逐渐降低,半高宽逐渐增加。

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