沉积气氛对ICPECVD制备硬质类金刚石膜的影响

【摘要】：在感应耦合等离子体增强化学气相沉积(ICPECVD)制备硬质类金刚石膜过程中采取CH4-O2和CH4-Ar两种不同的沉积气体体系,研究其对类金刚石膜沉积过程和薄膜性质的影响。分别对沉积得到的类金刚石膜的结构成分和薄膜沉积速率等进行测试,并对薄膜的微观形貌和表面粗糙度作了表征和分析。分析结果表明氧气和氩气的掺入对类金刚石膜沉积过程和薄膜性质有着不同的影响。

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前10条

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2	程世昌,张辉,刘石柱,凌高宏;射频等离子体法在单晶硅衬底上形成的非晶碳膜及其性质[J];核技术;1987年01期
3	程世昌,张辉,付德君;类金刚石膜的制备及其物理性质[J];真空科学与技术;1987年05期
4	程世昌,傅德君,吴周桥,张维琴;类金刚石膜的电阻率及光吸收特性研究[J];真空科学与技术;1988年05期
5	于爱民,徐文国,张寒琦,段忆翔,杨广德,刘军,金钦汉;微波等离子体合成类金刚石(DLC)膜的研究[J];真空;1991年02期
6	高克林,詹如娟,邹祖平,王燕霞,项志遴,刘宏图,吴志强,叶坚,周贵恩,王昌遂;低温等离子体沉积类金刚石薄膜[J];核聚变与等离子体物理;1991年03期
7	华中杰;基体表面类金刚石涂膜对金刚石火焰法沉积的强化作用[J];金刚石与磨料磨具工程;1991年03期
8	季泳,周鹏飞;类金刚石薄膜和金刚石薄膜的制备[J];上海理工大学学报;1992年03期
9	林锡刚,刘玮,蒲薇,李鹏远,蒲剑;离子束沉积类金刚石膜作为太阳电池减反射涂层研究[J];真空科学与技术;1992年06期
10	杨伟毅;类金刚石膜的电子能谱(XAES,XPS)研究[J];真空科学与技术;1992年06期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	袁镇海;付志强;林松盛;邓其森;;类金刚石薄膜的新进展[A];西部大开发科教先行与可持续发展——中国科协2000年学术年会文集[C];2000年
2	俞世吉;;感应耦合等离子体源制备硬质类金刚石膜的研究[A];'2001全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集[C];2001年
3	周灵平;李绍禄;黄桂芳;李德意;朱启良;;钢表面离子束类金刚石涂层耐磨耐蚀性能[A];第四届全国表面工程学术交流大会论文集[C];2001年
4	洪伟;宋洪君;季一勤;李谨;;类金刚石膜的应用和发展[A];TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2003年
5	俞世吉;;ICPECVD类金刚石膜沉积过程的发射光谱诊断研究[A];2004全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集[C];2004年
6	高万振;潘邻;李健;刘秀生;伍建华;李秉忠;;若干表面工程技术的新进展[A];第五届全国表面工程学术会议论文集[C];2004年
7	代明江;林松盛;候惠君;李洪武;;类金刚石膜的性能及在工模具上的应用[A];2005年中国机械工程学会年会论文集[C];2005年
8	张伟;张纾;田中章浩;徐滨士;;类金刚石多层膜在不同环境下的摩擦学行为[A];第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文集[C];2006年
9	华敏奇;杨兵;张莎莎;;应用MS-T3000摩擦磨损试验仪对类金刚石纳米复合涂层进行摩擦磨损性能研究[A];第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文集[C];2006年
10	俞世吉;丁振峰;马腾才;;沉积气氛对ICPECVD制备硬质类金刚石膜的影响[A];2006全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集[C];2006年

中国博士学位论文全文数据库

前3条

1	沈风雷;钛合金表面液相法沉积DLC膜及其血液相容性[D];南京工业大学;2003年
2	李新;DLC膜制备、微摩擦性能及其在MEMS中防粘附应用研究[D];大连理工大学;2006年
3	蔺增;利用射频PECVD方法生长类金刚石薄膜的实验研究[D];东北大学;2004年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	吴志猛;类金刚石膜的制备与特性研究[D];辽宁工程技术大学;2002年
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