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《中国电工技术学会电力电子学会第八届学术年会论文集》2002年
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硅功率器件液相钝化的研究与试验

彭昭廉  余岳辉  李焕炀  王芳  
【摘要】:本文讨论了在硅功率器件制造工艺中液相钝化工艺对硅功率器件一些性能的影响因素。并就这些因素提出了实用的工艺措施,避免和减少这些因素对硅功率器件一些性能的不利影响。

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