离子束辅助沉积立方氮化硼的试验研究

【摘要】：本文运用离子束辅助沉积法在硅片上制备了立方氮化硼薄膜,主要研究了辅助能量、辅助束流及辅助束中氮气含量等参数对膜中立方氮化硼(c-BN)含量的影响。用红外光谱(FTIR)、及光电子能谱(XPS)分析技术对得到的c-BN膜进行了分析。结果指出:①合适的离子辅助能量,能够获得c-BN含量高的薄膜。②膜中c-BN的含量随真空中N_2含量提高而增加。③辅助束流对薄膜的形成影响不明显。

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前10条

1	谭俊;张平;蔡志海;王晓晴;唐云;;离子束辅助沉积立方氮化硼的试验研究[A];'2001全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集[C];2001年
2	潘峰;曾飞;赵斌;;离子束辅助沉积非晶合金薄膜的研究[A];2002年材料科学与工程新进展（上）——2002年中国材料研讨会论文集[C];2002年
3	伍智;解永蓉;杨卫英;邹桂娟;曾敏;;离子束辅助沉积陶瓷-金属封接[A];中国工程物理研究院科技年报（2005）[C];2005年
4	苏康;邵天敏;;离子束辅助沉积制备TiAlSiN复合薄膜及其性能研究[A];2011年全国青年摩擦学与表面工程学术会议论文集[C];2011年
5	邓金祥;陈浩;陈光华;刘钧锴;宋雪梅;朱秀红;王波;严辉;;立方氮化硼薄膜表面的XPS研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅱ[C];2004年
6	王和义;傅依备;韩军;;离子束辅助沉积钯钇合金膜表面性能[A];中国工程物理研究院科技年报（2002）[C];2002年
7	张峰;范镝;高劲松;;碳化硅表面硅改性层的特性研究[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
8	王和义;傅依备;韩军;;钯钇合金膜离子束辅助沉积工艺[A];中国工程物理研究院科技年报（2002）[C];2002年
9	王三胜;;离子束辅助沉积技术及其在YBCO覆膜导体制备方面的应用进展[A];中国真空学会2006年学术会议论文摘要集[C];2006年
10	王和义;傅依备;韩军;;离子束辅助沉积纳米钯钇合金膜性能[A];中国工程物理研究院科技年报（2002）[C];2002年

中国博士学位论文全文数据库

前9条

1	邓金祥;立方氮化硼薄膜的射频溅射制备和掺杂研究[D];北京工业大学;2001年
2	任策;立方氮化硼晶体电流—电压特性及变色现象的研究[D];吉林大学;2009年
3	何斌;宽禁带立方氮化硼薄膜的制备与掺杂研究[D];北京工业大学;2008年
4	鲁平;新型阵列波导器件的理论与实验研究[D];华中科技大学;2005年
5	张晓康;立方氮化硼薄膜的相变和光、电性能研究[D];兰州大学;2009年
6	王程越;组织工程化骨修复兔下颌骨缺损同期种植体植入的实验研究[D];中国医科大学;2007年
7	柯博;ECR等离子体/离子束平台建设与硅基纳米材料的调控生长[D];中国科学技术大学;2012年
8	蒋军;微波管中抑制栅电子发射及其冷阴极的探索[D];中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）;2006年
9	张以忱;中频非平衡磁控溅射制备硬质复合薄膜的研究[D];东北大学;2008年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	郭清秀;磁控溅射法制备立方氮化硼薄膜及原位掺硫研究[D];北京工业大学;2011年
2	邱发敏;立方氮化硼薄膜中氧杂质的研究[D];浙江大学;2011年
3	秦聪祥;钛基及锆基多元氮化物薄膜的组织与性能研究[D];广东工业大学;2006年
4	曹猛;离子束辅助沉积ZrN/TiAlN和CN_x/TiAlN纳米多层膜的研究[D];天津师范大学;2008年
5	开花;斜入射离子束辅助沉积类金刚石膜的模拟研究[D];内蒙古民族大学;2008年
6	郭德成;C_2在金刚石（111）表面吸附和离子束辅助沉积类金刚石膜的分子动力学模拟[D];内蒙古民族大学;2009年
7	杨伟声;离子束辅助沉积（IAD）真空镀膜技术研究[D];南京理工大学;2008年
8	崔贲涛;立方氮化硼薄膜的汽相成核与生长研究[D];北京工业大学;2000年
9	刘钧锴;高质量立方氮化硼薄膜的制备和光电特性研究[D];北京工业大学;2006年
10	鲁嘉;电子束蒸发制备抗激光损伤ZrO_2/SiO_2膜系及表面特征研究[D];合肥工业大学;2006年

中国重要报纸全文数据库

前2条

1	记者郭姜宁;阎鹏勋教授获多项国际先进成果[N];科技日报;2001年
2	赵瑞;阎鹏勋教授获多项国际先进成果[N];光明日报;2002年

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