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《'2001全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集》2001年
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等离子体在微弧氧化中的作用

来永春  杜建成  施修龄  华洺  丁晓纪  
【摘要】:等离子体,在微弧氧化过程中形成高温高压区,使已形成的无序结构的氧化膜发生相和结构的变化,从而产生α-Al_2O_3或γ-Al_2O_3的相结构,使氧化膜更加致密;另一方面,在等离子体中,O~+离子在负电压作用下被加速打入铝的基体中形成渗透氧化,使氧化膜厚度增加,且增加的氧化膜主要在铝的基体中。

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