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《2011中国材料研讨会论文摘要集》2011年
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(Ba,Sr)TiO_3薄膜的电致双极性可逆电阻转变研究

赵鸿滨  杜军  
【摘要】:正采用磁控溅射沉积技术在Pt衬底上制备了(Ba,Sr)TiO3薄膜,分析讨论了(Au,Ti,Pt)/(Ba,Sr)TiO3/Pt结构的电脉冲诱发的电阻转变性能。Ti做为顶电极的器件成品率、耐久性和可靠性和其他两种顶电极比较都有显著提高。
【作者单位】:北京有色金属研究总院
【分类号】:O484.42

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