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钙钛矿结构铁电体有序纳米结构制备、物性和微结构研究

杭启明  朱信华  朱健民  
【摘要】:正纳米结构的铁电薄膜在非挥发铁电随机存储器(NV-FeRAM)方面具有重要的应用价值,在世界范围内受到广泛关注。随着微电子技术的发展,人们迫切需要数据传输快、存储密度高的NV-FeRAM。为了使铁电存储器存储密度达到千兆级(Gbit)水平,FeRAM的特征尺

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