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《2011中国材料研讨会论文摘要集》2011年
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ZnO透明导电薄膜室温生长及其在太阳能电池中的应用

吕建国  王钰萍  黄继杰  
【摘要】:本文利用直流反应磁控溅射技术在室温条件下制备了ZnO透明导电薄膜,如AZO和GZO薄膜。利用x射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、Hall测试仪、紫外-可见分光光度计等进行分析测试,系统研究了ZnO薄膜的结构、电学及光学性能。研究表明,生长过程中的气体总压强、Ar-O2比等对薄膜性能有显著影响。在优化条件下,电阻率最低可至10-4cm,可见光透过率超过90%,且热稳定性良好。本文对ZnO透明导电薄膜的绒面化也进行了系统研究。我们将ZnO透明导电薄膜用于晶体硅太阳能电池和CdTe/CdS薄膜太阳能电池,可作为透明电极、窗口层和减反射层等,对器件性能进行了研究。
【作者单位】:浙江大学
【分类号】:TB383.2;TM914.4

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