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基于ZnO纳米阵列的应力传感器构建及性能测试

张铮  黄运华  李萍  廖庆亮  张跃  
【摘要】:本研究利用ZnO的压电特性,成功构建了基于ZnO纳米棒阵列的应力传感器,并对其在不同频率和不同压力下的响应性能进行了研究。采用两步湿化学法在导电玻璃基底上制备了形貌均匀、取向一致、长径比可控的ZnO纳米棒阵列;然后在ZnO纳米棒阵列顶端封装柔性导电薄膜作为应力感应电极,构成ZnO纳米棒阵列应力感应器。在模拟振动源及压力源两种条件下,研究了该传感器对于不同振动频率和不同压力的响应性能。研究表明,该传感器在微重力测量和微小位移监测等方面有广泛的应用前景。

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