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硅抛光片几何参数控制的工艺研究

史舸  邓德翼  王文卫  舒钧  郭体强  李科技  
【摘要】:通过对影响抛光硅片的几何参数的因素的分析,从而导出一套对其进行有效控制的方法。

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