一次同时完成的硅片双面抛光技术

【摘要】：本文主要介绍在国产双面抛光机上一次同时完成的硅片双面抛光技术。通过大量试验和实践,我们从设备到工艺(包括对关键原材料及辅助工具的合理选用),采取了一系列行之有效的措施,终于成功地实现了一次同时完成硅片双面抛光工艺,硅片最薄加工厚度已达到215μm。加工的硅双面抛光片,具有精度指标高、表面质量好等一系列优点,φ76.2-100 mm硅双面抛光片其TTV以及TIR一般都保证小于1.0μm。

下载App查看全文

下载全文更多同类文献

PDF全文下载

CAJ全文下载

(如何获取全文？欢迎：购买知网充值卡、在线充值、在线咨询)

CAJViewer阅读器支持CAJ、PDF文件格式，AdobeReader仅支持PDF格式

	【相似文献】
	【相似文献】

中国期刊全文数据库

前20条

1	林小骥;;我在富士康的72小时[J];中国企业家;2011年13期
2	;SEMI:2010年硅晶圆出货面积将猛增39％[J];电源技术应用;2010年11期
3	;CO2激光器在塑料产品机械加工行业广泛应用[J];硅谷;2011年14期
4	;2011年第二季度硅晶圆出货量增加[J];电子与封装;2011年08期
5	熊毅;玉振明;陈炳忠;;基于DSP宝石加工机械手控制系统设计与实现[J];组合机床与自动化加工技术;2011年08期
6	;[J];;年期
7	;[J];;年期
8	;[J];;年期
9	;[J];;年期
10	;[J];;年期
11	;[J];;年期
12	;[J];;年期
13	;[J];;年期
14	;[J];;年期
15	;[J];;年期
16	;[J];;年期
17	;[J];;年期
18	;[J];;年期
19	;[J];;年期
20	;[J];;年期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	董尧德;汪桂发;胡新华;;一次同时完成的硅片双面抛光技术[A];2004年材料科学与工程新进展[C];2004年
2	董尧德;汪贵发;胡新华;;一次同时完成的硅片双面抛光技术[A];2004年中国材料研讨会论文摘要集[C];2004年
3	万勇建;袁家虎;杨力;范斌;;智能数控抛光控制模型[A];2002年中国光学学会年会论文集[C];2002年
4	雒建斌;潘国顺;雷红;高峰;王亮亮;姜小平;;计算机硬盘系统的表面纳米级抛光研究[A];制造业与未来中国——2002年中国机械工程学会年会论文集[C];2002年
5	罗进生;李风;刘小宁;张永俊;;数控机械电解抛磨曲面的运动仿真和实验研究[A];特种加工技术——2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集[C];2001年
6	孙军;王军;杨信伟;吕玉山;;单晶硅片的弹性变形法抛光新技术[A];制造业与未来中国——2002年中国机械工程学会年会论文集[C];2002年
7	邵竹锋;王慧;孙元成;;石英玻璃抛光质量对腐蚀形貌的影响[A];中国硅酸盐学会玻璃分会2009年全国玻璃科学技术年会论文集[C];2009年
8	罗巨涛;兰淑仙;李书贵;;除氧抛光酶TF-161C应用性能研究[A];康地恩杯第八届全国染整前处理学术研讨会论文集[C];2009年
9	肖九一;杨乾华;宋红文;;三维振动强化抛光技术及装置的初步研究[A];四川省振动工程学会2002年学术会议论文集[C];2002年
10	张秉坚;;装饰石材表面增光技术研究[A];新型建筑材料技术与发展——中国硅酸盐学会2003年学术年会新型建筑材料论文集[C];2003年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	何捍卫;铜化学-机械抛光电化学机理与抛光速率的研究[D];中南大学;2002年
2	刘薇娜;冰盘纳米抛光金属材料的研究[D];吉林大学;2004年
3	赵麦群;铜金粉制造技术及工艺理论研究[D];西北工业大学;2000年
4	华勇;碳化硅微粉表面改性及其在磨具中的应用[D];郑州大学;2006年
5	王菲;硅基聚合物阵列波导光栅波分复用器的研制[D];吉林大学;2005年
6	樊志琴;碳纳米管膜的制备及场发射特性研究[D];郑州大学;2003年
7	彭小强;确定性磁流变抛光的关键技术研究[D];国防科学技术大学;2004年
8	杨长江;金银币变色机理和抗变色工艺研究[D];大连理工大学;2008年
9	李岩;碲锌镉晶片高效低损伤加工工艺的研究[D];大连理工大学;2010年
10	张峰;磁流变抛光技术的研究[D];中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;2000年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	姜健;使用磁体抛光体（Magnetic Compound Fluid Polishing Tool）抛光的新方法[D];大连理工大学;2005年
2	范俞杰;超精密双面抛光加工过程平稳性的研究[D];浙江工业大学;2012年
3	陈毓;DJP-9BC超精密双面抛光机结构设计和实验研究[D];浙江工业大学;2011年
4	顾敏芝;一种高效非球面研抛法的研究[D];浙江大学;2004年
5	甄中锋;模具数据库、动态仿真及抛光的研究[D];哈尔滨理工大学;2004年
6	严真旭;电子信息材料声参数分布SLAM检测法研究[D];电子科技大学;2004年
7	井传发;微晶玻璃基板超光滑表面加工技术研究[D];长春理工大学;2004年
8	张景国;金属材料冰盘抛光纳米加工机理研究[D];长春理工大学;2004年
9	陈春林;机械与氧化化学法抛光金刚石膜研究[D];广东工业大学;2003年
10	杨峰;牙体预备后抛光对金属全冠固位力及机械嵌合力、粘结力的影响[D];郑州大学;2005年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	;日本抛光钻石市场境况佳[N];中国黄金报;2004年
2	华曦;给爱车打蜡“三不可少”[N];中国消费者报;2004年
3	郑辉明;墙面抛光打磨机研发成功[N];科技日报;2006年
4	本报记者刘群;如何让旧车靓丽[N];中国汽车报;2002年
5	航业;印度抛光钻石进口持续攀升[N];中国国土资源报;2008年
6	;5月份以抛光钻石出口超10亿美元[N];中国黄金报;2008年
7	覃广华熊红明经小飞;南宁：霉坏大米抛光加“剂”，上了百姓餐桌[N];新华每日电讯;2004年
8	青芸;如何给车做美容？[N];财经时报;2001年
9	王晓敏;洗牙后是否要喷砂和抛光[N];健康报;2005年
10	记者朱旭东;大米抛光没错,添加矿物油后才有“毒”[N];新华每日电讯;2008年

	快捷付款方式		订购知网充值卡	订购热线	帮助中心
	微信支付支付宝银行卡	知网卡在线购卡更多>>	免费送卡上门银行汇款购卡邮局汇款购卡	400-819-9993 010-62982499 010-62783978	常见问题在线咨询阅读器下载	充值中心知网卡新手指南