一次同时完成的硅片双面抛光技术

【摘要】：本文主要介绍在国产双面抛光机上一次同时完成的硅片双面抛光技术。通过大量试验和实践,我们从设备到工艺(包括对关键原材料及辅助工具的合理选用),采取了一系列行之有效的措施,终于成功地实现了一次同时完成硅片双面抛光工艺,硅片最薄加工厚度已达到215μm。加工的硅双面抛光片,具有精度指标高、表面质量好等一系列优点,φ76.2-100 mm硅双面抛光片其TTV以及TIR一般都保证小于1.0μm。

【作者单位】：万向硅峰电子股份有限公司万向硅峰电子股份有限公司万向硅峰电子股份有限公司
【分类号】：TN304

下载全文更多同类文献

PDF全文下载

CAJ全文下载

(如何获取全文？欢迎：购买知网充值卡、在线充值、在线咨询)

CAJViewer阅读器支持CAJ、PDF文件格式，AdobeReader仅支持PDF格式

	【引证文献】
	【引证文献】

中国重要会议论文全文数据库

前1条

1	李科技;由佰玲;武卫;孙晨光;李翔;;单抛机双面硅抛光片有蜡贴片工艺研究[A];第二十五届中国（天津）2011’IT、网络、信息技术、电子、仪器仪表创新学术会议论文集[C];2011年

	【同被引文献】
	【同被引文献】

中国期刊全文数据库

前1条

1	赵权;杨洪星;刘春香;吕菲;王云彪;武永超;;超薄硅双面抛光片抛光工艺技术[J];电子工业专用设备;2011年03期

	【相似文献】
	【相似文献】

中国期刊全文数据库

前10条

1	金友;激光在光学玻璃抛光中的应用[J];光机电信息;2000年02期
2	魏昕,杜宏伟,袁慧,解振华;晶片材料的超精密加工技术现状[J];组合机床与自动化加工技术;2004年03期
3	王蓉蓉;MOS4K电路研制中的硅片制备[J];微电子学;1980年03期
4	;在快速可控硅生产中采用铬离子抛光的几点体会[J];半导体技术;1976年01期
5	李冰,郭霞,刘莹,李秉臣,王东凤,沈光地;蓝宝石基LED外延片背减薄与抛光工艺研究[J];半导体技术;2005年09期
6	库黎明;李耀东;周旗钢;王敬;;双面抛光工艺中压力对300mm硅片表面形貌的影响[J];稀有金属;2006年02期
7	闫志瑞;鲁进军;李耀东;王继;林霖;;300mm硅片化学机械抛光技术分析[J];半导体技术;2006年08期
8	李铁英;无蜡抛光新工艺[J];半导体技术;1987年01期
9	严诚;金戈;王益军;张正君;孙建宁;苏德坦;;微通道板双面抛光技术[J];半导体技术;2007年08期
10	彭少麟,章佩娴;等离子体抛光硅的表面特性[J];微电子学;1980年01期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	董尧德;汪桂发;胡新华;;一次同时完成的硅片双面抛光技术[A];2004年材料科学与工程新进展[C];2004年
2	董尧德;汪贵发;胡新华;;一次同时完成的硅片双面抛光技术[A];2004年中国材料研讨会论文摘要集[C];2004年
3	库黎明;周旗钢;李耀东;闫志瑞;王继;;双面抛光过程中化学作用对300m硅片表面形貌的影响[A];中国有色金属学会第六届学术年会论文集[C];2005年
4	孙军;王军;杨信伟;吕玉山;;单晶硅片的弹性变形法抛光新技术[A];制造业与未来中国——2002年中国机械工程学会年会论文集[C];2002年
5	郭东明;康仁科;金洙吉;;大尺寸硅片的高效超精密加工技术[A];制造业与未来中国——2002年中国机械工程学会年会论文集[C];2002年
6	杜国军;陈涛;左铁钏;;生物电喷芯片的准分子激光制备方法[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年
7	吴明明;周兆忠;巫少龙;;单晶硅片的制造技术[A];第二届浙江中西部科技论坛论文集（第一卷）[C];2005年
8	吴明明;周兆忠;巫少龙;;单晶硅片的制造技术[A];衢州市自然科学优秀论文选编（2001-2004）[C];2005年
9	汤亮;郝震宏;齐敏;孙泉;乔东海;;射频磁控溅射法制备ZnO压电薄膜及其性能分析[A];2010’中国西部声学学术交流会论文集[C];2010年
10	鄂然;田文杰;崔媛媛;;表面处理对单基多电极石英晶体谐振器力-频特性的影响[A];第二届全国压电和声波理论及器件技术研讨会摘要集[C];2006年

中国重要报纸全文数据库

前5条

1	赵艳秋编译;CMP技术走到尽头了吗[N];中国电子报;2002年
2	黄共钿 DigiTimes;鸿海斥资8.1亿元入主正达将切入触控面板领域[N];电子资讯时报;2007年
3	王小庆;四十六所：以GaAs生产为主[N];中国电子报;2002年
4	林昌明 DigiTimes;全球空白硅晶圆二季度出货年增两年[N];电子资讯时报;2006年
5	朱小庆;恋上诺基亚摩登波音[N];中国电脑教育报;2008年

中国博士学位论文全文数据库

前1条

1	王菲;硅基聚合物阵列波导光栅波分复用器的研制[D];吉林大学;2005年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	陈毓;DJP-9BC超精密双面抛光机结构设计和实验研究[D];浙江工业大学;2011年
2	金戈;微通道板双面抛光工艺研究[D];南京理工大学;2008年
3	王永涛;双面抛光去除非均匀性研究[D];北京有色金属研究总院;2012年
4	严真旭;电子信息材料声参数分布SLAM检测法研究[D];电子科技大学;2004年
5	郑先锋;直流辉光氧等离子体刻蚀CVD金刚石膜的研究[D];武汉工程大学;2007年
6	齐童;干冰微粒喷射法清洗和抛光ITO玻璃[D];电子科技大学;2008年
7	田东斌;熔石英亚表面划痕诱导激光损伤的初步研究[D];电子科技大学;2008年
8	郭颖;掺Yb~（3+）双包层光纤激光器理论和实验研究[D];郑州大学;2010年
9	李恒;硅中注氦诱生微孔对金吸除作用的研究[D];四川大学;2003年
10	唐有青;氦诱生微孔对硅中低浓度杂质吸除的研究[D];四川大学;2003年

	快捷付款方式		订购知网充值卡	订购热线	帮助中心
	微信支付支付宝银行卡	知网卡神州行卡更多>>	免费送卡上门银行汇款购卡邮局汇款购卡	400-819-9993 010-62791813 010-62985026	常见问题在线咨询阅读器下载	充值中心知网卡新手指南