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《2004年中国材料研讨会论文摘要集》2004年
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纳米多层膜的共格外延生长特征与超硬效应

李戈扬  
【摘要】:正两种材料以纳米量级交替生长形成的纳米多层膜由于存在力学性能异常升高的超硬效应而成为薄膜材料研究的热点之一。纳米多层膜的共格外延生长是其产生超硬效应的重要微结构原因。本文以TiN/TiB2,VN/AIN和TiN/SiO2纳米多层膜为例,对纳米多层膜的共格外延生长类型和超硬机制进行了研究。TiN为fcc结构,TiB2为hcp结构;由它们组成的纳米多层膜形成(111)TiN//(0001)TiB2,[110]TiN//[1120]TiB2,的共格关系,并呈现外延生长的特征。因存在晶格失配,多层膜中存在拉压交变的应力场,使多层膜得到强化。

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