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《2004年中国材料研讨会论文摘要集》2004年
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大直径单晶硅中过渡族金属对洁净区的影响

吴冬冬  杨德仁  席珍强  阙端麟  
【摘要】:正过渡族金属是硅中最常见和最重要的杂质之一,它们会导致硅基微电子器件的失效并降低其产率。因此,系统的了解过渡族金属在硅中的作用规律对于制备优质高产的器件有着非常重要的作用。对于小直径单晶硅中过渡族金属的规律己做过较为深入的研究。但是对于过渡族金属在大直径单晶硅(8英寸或12英寸)中的作用规律,特别是在快速热处理(rapid thermal process,)作用下的研究还尚少。

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