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《2003年新材料发展趋势研讨会演示文稿汇编》2003年
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硅及硅基半导体材料的研究与发展

屠海令  
【摘要】:正Progress in microelectronics.
【作者单位】:半导体材料国家工程研究中心
【分类号】:TN304

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