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溶胶—凝胶法制备YBCO纳米薄膜及结构研究

赵高扬  马怀香  张卫华  
【摘要】:以钇、钡和铜的醋酸盐为起始原料,选用三种络合剂,配制出了均匀、稳定的YBCO溶胶;并确定了钇、钡和铜的醋酸盐与络合剂及溶剂的最佳配比。在预制了钇稳定二氧化锆(YSZ)缓冲层的Si基板上制备了薄膜厚度为80nm的YBCO薄膜。对YBCO纳米薄膜的热处理工艺、薄膜形貌和微观组织结构进行了初步研究。

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