聚合物热解制备纳米类金刚石薄膜及其结构表征

【摘要】：合成了一种新型碳基骨架聚合物—聚碳苯,将其溶解于有机溶剂中,通过旋涂法涂覆于单晶硅表面,在常压、惰性气体保护下,经过高温热处理得到类金刚石碳膜。利用激光拉曼光谱、X射线光电子能谱、扫描电子显微镜和原子力显微镜考察了类金刚石碳膜的结构和表面形貌。结果表明:热处理温度为600～1000℃可以得到具有金刚石和石墨碳混合相的纳米薄膜,随着热处理温度的升高,薄膜石墨化程度增加,晶体相尺寸减小;薄膜表面光滑平整,同时膜中存在少量较大尺寸的金刚石颗粒。