聚酰亚胺基底上的纳米氟碳高分子溅射沉积膜

【摘要】：利用射频磁控溅射法,以聚四氟乙烯为靶材,在聚酰亚胺薄膜基底上沉积氟碳高分子纳米功能膜。利用扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、原子力显微镜(AFM)和X射线光电子能谱(XPS)研究了膜的形貌和结构及其对放电条件的依赖性。结果表明,这是一种由-CF_3,-CF_2,-CF和-C四组分构成的交联氟碳高分子膜。其形貌呈现出独特的垂直生长的锥状纳米颗粒及相应空隙构成的纳米结构,根据Wenzel方程和Cassie方程,这种结构有利于增加表面的疏水性。接触角测量验证了其增强的憎水性。这是一种集聚酰亚胺和氟碳高分子特性于一身的纳米多功能复合膜。