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《2002年材料科学与工程新进展(下)——2002年中国材料研讨会论文集》2002年
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稀土Eu掺杂改性的PbZr_(0.52)Ti_(0.48)O_3铁电薄膜

于艳菊  王福平  赵连城  
【摘要】:本文报道了稀土金属Eu掺杂的PbZr_(0.52)Ti_(0.48)O_3(PEZT)铁电薄膜的溶胶-凝胶制备及其铁电性能研究。通过优化掺杂剂的含量,获得了具有优良铁电性能的沉积于Pt/Ti/SiO_2/Si衬底上的PEZT薄膜。其剩余极化值达40μC/cm~2,漏电流为2×10~(-10)A/cm~2(在250 kV/cm电场下测得),极化疲劳特性明显改善(经过10~9次极化翻转后,剩余极化值仅减少15%)等。初步分析了Eu掺杂改性机理。

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