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《纳米材料和技术应用进展——全国第二届纳米材料和技术应用会议论文集(下卷)》2001年
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纳米锆氧化物薄膜的制备

黄宁康  汪德志  杨斌  雷家荣  
【摘要】:采用离子束溅射沉积Zr的同时,进行氧离子的轰击。随着注入离子束流密度的不同,形成的锆氧化物薄膜从非晶向晶态转化。形成的晶态薄膜为纳米量级范围内的微晶。同时发现不同的衬底对形成纳米锆氧化物的临界氧离子束流密度也不同。

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【共引文献】
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1 杨斌,黄宁康,雷家荣,汪德志;利用双束技术制备纳米锆氧化物薄膜的研究[J];四川大学学报(自然科学版);2001年06期
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
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10 李阳;纳米ZrO_2粉体的共沉制备及分散技术研究[D];电子科技大学;2002年
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