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《2000年材料科学与工程新进展(下)——2000年中国材料研讨会论文集》2000年
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一种改进的CVD金刚石薄膜生长过程原子尺度三维仿真的动力学Monte Carlo方法

张禹  刘国权  秦湘阁  安希中  
【摘要】:动力学Monte Carlo(KMC)图形仿真方法通过结合金刚石薄膜生长表面的原子结构和形貌特性,以及对CVD金刚石薄膜生长过程在原子尺度上的三维表征,可以形象描述CVD金刚石薄膜原子尺度生长过程。本文在介绍KMC方法的同时,分析了所存在问题,并对原有KMC方法加以改进,使之更准确地反映CVD金刚石薄膜原子尺度的生长规律。

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【引证文献】
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1 安希忠,张禹,刘国权,秦湘阁,王辅忠,刘胜新;CVD金刚石膜{100}取向在改进化学反应模型下生长的原子尺度模拟[J];稀有金属材料与工程;2002年05期
【共引文献】
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2 杨春,李言荣;薄膜生长模型与计算机模拟[J];功能材料;2003年03期
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【同被引文献】
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1 秦湘阁,刘国权;多晶体晶粒尺度三维组织建模及可视化[J];北京科技大学学报;2001年06期
【二级引证文献】
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