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不同重力取向对金刚石薄膜生长的影响

杨洁  申彩霞  刘旺盛  王成新  刘洪武  
【摘要】:本文采用热丝CVD方法在不同方向的Si衬底上生长金刚石薄膜。研究了金刚石薄膜的生长特性以及不同重力取向对金刚石薄膜成核密度、生长速度和晶体品质的影响。通过激光喇曼光谱、原子力显微镜(AFM)、扫描电镜(SEM)等测试得出:不同重力取向生长的金刚石薄膜成核密度和生长速度表现出明显的差别。

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