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《第八届全国气湿敏传感器技术学术交流会论文集》2004年
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喷墨打印次数对SnO_2气敏薄膜性能的影响

沈文锋  赵岩  张彩碚  
【摘要】:利用溶胶-凝胶法配制了SnO2前驱溶液墨水,采用喷墨打印技术在金叉指氧化铝基片上制备了不同打印次数的SnO2气敏薄膜元件,通过XRD,SEM对薄膜进行结构分析和形貌观察,研究了喷墨打印次数的改变对薄膜电阻及其气敏性能的影响.实验表明,增加薄膜喷墨打印次数可降低薄膜电阻,提高SnO2薄膜对乙醇、丙酮气体的灵敏度,但会降低对NOx的灵敏性.

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