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当代微电子技术的进展和我们的的发展对策(摘要)

俞忠钰  
【摘要】:正 世界正进入信息时代,电子信息产业已成为世界第一大产业。微电子技术公认为是电子信息产业的重要技术基础。当前一方面集成电路正在继续沿着摩尔定律向前发展,另一方面,芯片特征尺寸将逐步进入纳米加工技术的线度范围,硅微子器件尺寸正在逐步逼近其物理极限。本文分析了当前微电子技术的发展特点,指出有四个值得关注的重点发展领域,它们是:光学光刻和下一代光刻技术,亚100纳米微电子器件的结构和工艺,系统集成芯片以及集成电路芯片生产线全

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