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《第一届全国纳米技术与应用学术会议论文集》2000年
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多层弯曲磁微执行器宏模型的有限元法网格划分

朱珂  黄庆安  
【摘要】:本文首先介绍了多层弯曲磁微执行器的工作原理,然后建立有限元分析的模型,并对模型进行网格划分,最后利用柏松方程结合已知的边界条件求出各节点的磁势,从而进一步可以求出上极板的弯曲量。
【作者单位】:东南大学微电子中心 东南大学微电子中心
【分类号】:TB115

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 朱珂,黄庆安;多层弯曲磁微执行器的有限元分析[J];固体电子学研究与进展;2003年03期
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 黄庆安,秦明,李伟华,匡一宁,朱珂,章彬,孟为民,鞠瑜华,严先蔚,张昭勇;微电子机械系统计算机辅助设计[J];电子科技导报;1999年10期
2 朱珂,黄庆安,姚建南;磁微执行器的原理及应用[J];测控技术;2000年03期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 方玉明;李伟华;;静磁微执行器模型研究进展[J];半导体技术;2009年07期
2 梅年松,黄庆安;MEMS薄膜断裂强度测试结构[J];微纳电子技术;2002年12期
3 方绪文,唐洁影,黄庆安;MEMS器件在冲击下的可靠性[J];微纳电子技术;2004年07期
4 郭永献;贾建援;梁丽萍;张大兴;;三层多级弯曲磁微执行器设计与研究[J];传感技术学报;2008年03期
5 孟为民,李伟华,黄庆安;MEMS的设计方法与系统模拟[J];传感器技术;2001年10期
6 方玉明,黄庆安,李伟华;多级弯曲磁微梁执行器力-磁耦合宏模型[J];电子学报;2003年S1期
7 朱珂,黄庆安;多层弯曲磁微执行器的宏模型[J];固体电子学研究与进展;2002年03期
8 朱珂,黄庆安;多层弯曲磁微执行器的有限元分析[J];固体电子学研究与进展;2003年03期
9 吕红映;陈立新;王亚洲;张教强;;聚合物先驱体转化法制备陶瓷MEMS器件[J];中国胶粘剂;2008年11期
10 吴鸿宾,苑伟政,常洪龙,谢建兵;MEMS CAD软件开发中参数化版图库的研究及实现[J];机械设计与制造;2005年09期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 罗元;光通信MEMS光开关关键技术的研究[D];重庆大学;2003年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 赵洪策;桌面式微型工厂的建模和仿真与可视化关键技术研究[D];西北工业大学;2001年
2 杨友文;多层弯曲磁芯结构磁驱动微执行器的研究[D];合肥工业大学;2003年
3 王群伟;磁微致动器的多能量域建模及数值模拟研究[D];浙江大学;2003年
4 方志华;MEMS工艺版图三维重构技术研究[D];西北工业大学;2004年
5 甘霖;微型三角转子发动机性能研究[D];浙江大学;2004年
6 梅年松;MEMS断裂强度在线测试[D];东南大学;2004年
7 刘佳;基于MEMS微致动器的碟翼流动控制研究[D];西北工业大学;2006年
8 周鹏;MEMS器件综合技术的研究[D];东南大学;2005年
9 马德森;基于节点密度的拓扑优化设计方法及应用研究[D];大连理工大学;2007年
10 毕珊;MEMS引信安全系统的微驱动器研究[D];南京理工大学;2008年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 黄庆安,秦明,李伟华,匡一宁,朱珂,章彬,孟为民,鞠瑜华,严先蔚,张昭勇;微电子机械系统计算机辅助设计[J];电子科技导报;1999年10期
2 朱珂,黄庆安;多层弯曲磁微执行器的宏模型[J];固体电子学研究与进展;2002年03期
3 朱珂,黄庆安,姚建南;磁微执行器的原理及应用[J];测控技术;2000年03期
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 方玉明,黄庆安,李伟华;多级弯曲磁微梁执行器力-磁耦合宏模型[J];电子学报;2003年S1期
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 匡一宁,黄庆安;基于热膨胀效应的微执行器进展[J];电子器件;1999年03期
【相似文献】
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 朱珂;黄庆安;;多层弯曲磁微执行器宏模型的有限元法网格划分[A];第一届全国纳米技术与应用学术会议论文集[C];2000年
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