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《第一届全国纳米技术与应用学术会议论文集》2000年
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MEMS接触式开关的计算机模拟

初建朋  郭方敏  赖宗声  
【摘要】:本文给出了用简单的理论模型对高频MEMS接触式开关的悬梁弯曲和驱动电压的关系的分析,并介绍了利用有限元分析软件—ANSYS对其电学、力学及其耦合特性的计算机模拟的过程。

【引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 郭方敏,赖宗声,朱自强,贾铭,初建朋,范忠,朱荣锦,戈肖鸿,杨根庆,陆卫;悬臂式RF MEMS开关的设计与研制[J];半导体学报;2003年11期
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 雷啸锋,刘泽文,宣云,韦嘉,李志坚,刘理天;一种K波段双桥电容式RF MEMS开关的设计与制作[J];半导体学报;2005年07期
2 南敬昌;刘元安;黎淑兰;;RF MEMS器件驱动机制理论与分析[J];微电子学;2006年04期
中国硕士学位论文全文数据库 前5条
1 谢兴军;静电驱动MEMS微波开关设计与仿真[D];重庆大学;2004年
2 唐洁;压电微悬臂梁传感技术的研究[D];天津大学;2005年
3 宋孝勇;微结构振动特性的自由衰减测试方法[D];天津大学;2006年
4 王忠顺;压电微悬臂梁共振检测系统的研究[D];天津大学;2006年
5 赵倩云;微悬臂梁品质因数Q控制技术的研究[D];天津大学;2006年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 王婧,张力,徐宗俊;PowerMEMS气体动压径向轴承承载能力的分析[J];重庆大学学报(自然科学版);2005年02期
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3 冯勇建;;MEMS高温接触式电容压力传感器[J];仪器仪表学报;2006年07期
4 刘盛,刘家豪,傅建中,陈子辰;面向MEMS构件在线检测和三维外型测量的立体视觉系统[J];中国机械工程;2003年22期
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7 唐;美国防卫高级研究规划局提出研究终极传感器—MEMS尘埃![J];电子对抗技术;1997年04期
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中国重要会议论文全文数据库 前10条
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2 陈新隽;刘晓平;戴若犁;刘昊扬;;多MEMS传感器的嵌入式姿态测量系统设计[A];2011年机械电子学学术会议论文集[C];2011年
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7 李建飞;薛兵;张俊峰;朱小毅;王晓蕾;;应用于MEMS加速度计的小型恒温系统的实现[A];中国地震学会第14次学术大会专题[C];2012年
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10 赵兴海;杜亦佳;郑英彬;陈颖慧;高杨;鲍景富;苏伟;;D波段MEMS波导滤波器研究[A];2011年全国微波毫米波会议论文集(下册)[C];2011年
中国重要报纸全文数据库 前10条
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5 刘恕;微机电系统:从能看到能用[N];科技日报;2005年
6 ;Intel悄然推出手机MEMS模块[N];计算机世界;2004年
7 本报记者 徐勐 通讯员 苏媛;国家高新区MEMS研究院落户淄博[N];淄博日报;2010年
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中国博士学位论文全文数据库 前10条
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3 张正元;射频微机械开关与放大器关键技术研究[D];重庆大学;2004年
4 王佩红;基于MEMS技术的微型电磁式振动能量采集器的研究[D];上海交通大学;2010年
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6 李庄;用于高场不对称波形离子迁移谱仪的MEMS振簧式静电计研究[D];中国科学技术大学;2010年
7 王春田;MEMS数字检波器采集系统技术研究[D];中国地质大学(北京);2011年
8 关乐;基于宏模型技术的MEMS系统级仿真研究[D];大连理工大学;2011年
9 杜广涛;新型MEMS磁敏传感器的研究[D];西南交通大学;2011年
10 文春明;基于MEMS技术的超级电容器三维微电极阵列制备及表征方法研究[D];重庆大学;2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 李炜;硅基微波MEMS移相器的优化设计与性能分析[D];华东师范大学;2004年
2 宿智娟;MEMS宽带毫米波天线阵列研究[D];上海交通大学;2010年
3 付宇辉;基于MEMS航位推算系统的设计与实现[D];哈尔滨工程大学;2010年
4 曾昊骋;MEMS开关与频率可重构天线的研究与设计[D];电子科技大学;2010年
5 华晨辉;MEMS超声分离器的二维简正模式的研究及实验分析[D];电子科技大学;2010年
6 赵明锐;基于MEMS硅基底L波段微带天线的研究与设计[D];电子科技大学;2010年
7 孟丽娜;基于MEMS的微驱动器研制及其特性研究[D];黑龙江大学;2005年
8 苑海静;船用MEMS航姿测量系统算法研究与实现[D];哈尔滨工程大学;2010年
9 牛凯;4×4MEMS光开关阵列的设计与实验研究[D];清华大学;2004年
10 赵磊;梳齿式MEMS光开关的分析与改进[D];西安电子科技大学;2010年
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