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《2000全国力学量传感器及测试、计量学术交流会论文集》2000年
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集成MOS力敏运放压力传感器的设计与研究

岳瑞峰  刘理天  李志坚  
【摘要】:本文提出并设计制作出一种新型集成压力传感器——集成MOS力敏运放压力传感器。这种压力传感器具有很高的压力响应灵敏度,可望在诸多领域有广泛应用。

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