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《2000全国力学量传感器及测试、计量学术交流会论文集》2000年
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SiC薄膜高温压力传感器

朱作云  李跃进  杨银堂  柴常春  贾护军  韩小亮  王文襄  刘秀娥  王麦广  
【摘要】:正 1 引言高温压力传感器研制的主要目的是为了解决在高温环境下各种气体和液体的压力测量问题,它的应用十分广泛。在民用方面可用于测量锅炉、管道、高温反应容器内的压力、井下压力和各种发动机腔体内的压力,在军事上可用于喷气发动机、坦克发动机、舰船发动机的压力测量、火箭、导弹、卫星等耐热腔体及表面各部分的压力测量。

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