收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

双桥温补集成压力传感器研究

岳瑞峰  刘理天  李志坚  
【摘要】：为了减小硅压阻式压力传感器的热零点漂移,设计了两种新型双惠斯登电桥结构。将力敏电桥和补偿电桥的输出信号相减,可望明显减小压力传感器的失调与热零点漂移。该压力传感器还设置了片内信号处理电路,采用PMOS工艺实现集成制造。本文给出了初步测试结果。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 ;新的飞思卡尔Xtrinsic压力传感器为基于位置的服务简化系统设计[J];半导体技术;2011年08期
2 ;新的飞思卡尔Xtrinsic压力传感器为基于位置的服务简化系统设计[J];电子与电脑;2011年08期
3 Jay Esfandyari;Paolo Bendiscioli;Gang Xu;;用于先进移动装置的MEMS传感器[J];电子与电脑;2011年08期
4 孙娟萍;安巧绒;;动态压力的分析研究[J];中国科技信息;2011年13期
5 刘鹏飞;刘国军;王永杰;赵强;李芳;;光纤光栅压力传感器增敏技术发展评述[J];传感器与微系统;2011年08期
6 刘新月;梁彩凤;;基于拉格朗日差值的压力优越感器温度补偿算法[J];传感器世界;2011年04期
7 毕向东;金玲;;应用于TPMS的压力传感器YAPS10[J];电子与封装;2011年08期
8 ;霍尼韦尔发布新的电路板安装型微压力传感器[J];电子与电脑;2011年09期
9 杨会;沈大伟;陈国彬;祖静;;基于ANSYS压力传感器加速度效应的校准[J];液压与气动;2011年08期
10 胡浩;杜贻群;;压力仿真系统的大深度与高精度控制研究[J];四川兵工学报;2011年06期
11 ;传感器在数控机床上的应用[J];硅谷;2011年13期
12 罗裴;;膜片式光纤光栅压力传感器的灵敏度分析[J];机电工程技术;2011年05期
13 周文真;张文昭;刘爱林;徐晓;;基于内压式点滴速度传感器的设计[J];传感器与微系统;2011年07期
14 王淑华;;MEMS传感器现状及应用[J];微纳电子技术;2011年08期
15 张慧玲;;压力传感器在模拟降雨系统中的应用[J];电子设计工程;2011年15期
16 祖鹏;向望华;白扬博;金永兴;;超低温度系数的光子晶体光纤Sagnac压力传感器[J];强激光与粒子束;2011年07期
17 李军民;翟满召;孟海江;;生物压力识别技术在银行安全中的应用[J];西安科技大学学报;2011年04期
18 段广云;巩建国;;微硅粉增密仓料位实时监测系统的设计与实现[J];仪表技术与传感器;2011年08期
19 张锦文;李伟;;碳纳米管压力传感器研究进展[J];功能材料与器件学报;2011年03期
20 郭睿;;智能数字压力表设计[J];机电信息;2011年21期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 岳瑞峰;刘理天;李志坚;;双桥温补集成压力传感器研究[A];2000全国力学量传感器及测试、计量学术交流会论文集[C];2000年
2 高成臣;;硅-蓝宝石高温压力传感器发展现状[A];2000全国力学量传感器及测试、计量学术交流会论文集[C];2000年
3 唐世洪;;双E型硅压力传感器的研制[A];2000全国力学量传感器及测试、计量学术交流会论文集[C];2000年
4 王长虹;程颖;陶文中;;阵列式硅压阻压力传感器的研究[A];2000全国力学量传感器及测试、计量学术交流会论文集[C];2000年
5 李焰;斐明敬;王占江;胡华权;陈立强;李捷;董永峰;;微型炸药球水中爆炸冲击波压力波形测试和研究[A];第三届全国爆炸力学实验技术交流会论文集[C];2004年
6 文尚刚;龚晏青;董树南;王世英;汤世友;;高量程压力传感器在含能材料燃烧转爆轰实验中的应用[A];第四届全国爆炸力学实验技术学术会议论文集[C];2006年
7 姚冬平;宋音;;压力传感器自动测试系统的研究[A];2000全国力学量传感器及测试、计量学术交流会论文集[C];2000年
8 王明;袁纵横;;一种光子晶体压力传感器的理论研究与仿真[A];2007'仪表，自动化及先进集成技术大会论文集（二）[C];2007年
9 石雄;刘娅;李捷;;基于系统级封装技术的车用压力传感器[A];2008中国仪器仪表与测控技术进展大会论文集（Ⅲ）[C];2008年
10 曾辉;李欢秋;;岩土中结构表面刚性压力传感器动匹配问题的数值计算研究[A];第五届全国岩石动力学学术会议文集[C];1996年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 赵新;基于硅波导的新型光学压力传感器研究[D];复旦大学;2012年
2 吕晓洲;用于电子皮肤的新型压力传感器的研究[D];东华大学;2012年
3 陈德勇;微机械谐振梁压力传感器研究[D];中国科学院研究生院（电子学研究所）;2002年
4 关荣锋;MEMS器件设计、封装工艺及应用研究[D];华中科技大学;2005年
5 陈婷;碳纳米管薄膜的制备及其场发射性能研究[D];华东师范大学;2007年
6 申人升;FBG的金属化封装及其传感应用技术研究[D];大连理工大学;2008年
7 蒋凯;高温高压深海极端环境模拟装置及其控制策略研究[D];浙江大学;2007年
8 王笑丹;畜肉品质评定方法及综合评定系统研究[D];吉林大学;2008年
9 朱福龙;基于工艺力学的MEMS封装若干基础问题研究[D];华中科技大学;2007年
10 崔之健;采油井测试联作中的减振及压力传感技术研究[D];华中科技大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 杨峻松;机械式微压力传感器的稳健设计研究[D];北方工业大学;2011年
2 石汝军;低压陶瓷电容式压力传感器的研究[D];武汉理工大学;2002年
3 曲本波;光纤EFPI压力传感器长期稳定性研究[D];大连理工大学;2011年
4 张文娜;压力传感器的辨识建模及动态补偿技术研究[D];国防科学技术大学;2002年
5 徐世六;真空微电子压力传感器的研究[D];重庆大学;2003年
6 张晓芳;基于示波法电子血压计的研究与设计[D];吉林大学;2006年
7 刘桢;基于GSM网络的智能压力传感器系统研究[D];西安理工大学;2008年
8 高晓童;热激励氮化硅谐振梁压力传感器的设计与制作[D];中国科学院研究生院（电子学研究所）;2003年
9 安建军;冲击波压力传感器动态灵敏度研究[D];中北大学;2008年
10 郭长旭;压力传感器仿真平台的研究与设计[D];沈阳工业大学;2010年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 徐铮奎;新型压力传感器有助于提早发现病变[N];中国医药报;2009年
2 河南许昌技术经济学校 李德彦;汽车常用压力传感器与检测[N];电子报;2009年
3 唐华淼 编译;厚度不足0.3mm的压力传感器[N];电子报;2009年
4 记者 常丽君;美造出透明超延展压力传感器[N];科技日报;2011年
5 成都 生为 编译;Tekscan柔性薄膜网格状触觉压力传感器(下)[N];电子报;2010年
6 吴琼;汽车压力传感器应用前景广阔[N];中国机电日报;2000年
7 成都 生为编译;Tekscan柔性薄膜网格状触觉压力传感器(上)[N];电子报;2010年
8 吴琼;新型压力传感器用元件[N];北京电子报;2001年
9 吴琼;非晶硅压力传感器[N];中国电子报;2000年
10 王繁泓;耐高温压力传感器研制成功[N];中国化工报;2004年
中国知网广告投放
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978
订卡电话 400-819-9993
在线咨询 http://help.cnki.net
京ICP证040441号
京公网安备11010802020475号
©2020中国知网（CNKI）