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双掩模法镀制超高斯激光反射镜

熊俊  林道方  孙平  孙寅宫  
【摘要】：提出了一种用常规真空镀膜技术镀制超高斯激光反射镜的方法,在蒸发源与被镀基片之间放置一定厚度的掩模(相当于两个薄掩模),通过改变掩模孔径大小、掩模与蒸发源及基片之间的距离,可以得到不同级次、不同宽度的超高斯反射镜,实验结果与计算符合得相当好．

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