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0.22THz微电真空折叠波导行波管的模拟研究

徐翱  陈洪斌  阎磊  胡林林  唐瑞雪  马国武  宋睿  蒋艺  雷文强  金晓  周传明  
【摘要】:微细加工技术制造的真空微电子器件充分结合了传统真空和固态电子器件的优点,使得它很有希望克服传统真空电子器件在微小电路尺寸和精确三维制造中的限制,以及固态电子器件在电子迁移率等方面的限制,成为具有宽频带、大功率的太赫兹辐射源。而微细加工的0.22THz微电真空折叠波导行波管就是其中的一种。本文利用三维电磁仿真软件HFSS分析了0.22THz折叠波导的几何尺寸参数对色散和耦合阻抗的影响,并通过粒子模拟软件研究了系统长度、输入功率、电子注参数等对输出功率的影响,得到了0.22THz折叠波导行波管的输出功率、带宽和增益。

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