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《2011年全国微波毫米波会议论文集(下册)》2011年
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D波段MEMS波导滤波器研究

赵兴海  杜亦佳  郑英彬  陈颖慧  高杨  鲍景富  苏伟  
【摘要】:本文采用有限元仿真软件HFSS设计了一种D波段电感膜片耦合三腔波导滤波器,中心频率140GHz,带宽10%。采用MEMS深刻蚀工艺(ICP)加工了滤波器样品。解决了深刻蚀、电镀金属和键合等关键工艺,获得的样品测试结果为插入损耗2.8-3.2dB,中心频率140-142GHz,带外抑制为9-12dB。

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