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《2003'全国微波毫米波会议论文集》2003年
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基于CPW的MEMS开关的有限元分析

于成  张沛玲  仲顺安  
【摘要】:MEMS膜开关是二十世纪九十年代发展起来的一种新型的开关结构,它由一个受直流偏压控制的薄金属膜构成。MEMS开关特性由开关结构的参数和频率决定。在这篇文章里,通过应用有限元分析法确定了工作频率在38GHz的单一MEMS开关的结构参数。
【作者单位】:北京理工大学电子工程系微电子研究所
【分类号】:TM564

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