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《2003'全国微波毫米波会议论文集》2003年
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射频MEMS移相器研究进展

张永华  丁桂甫  蔡炳初  沈民谊  
【摘要】:微波与毫米波移相器是通讯和雷达应用上相控阵天线的基本单元,在移相器设计中用最小损耗的MEMS开关达到大量减少移相器插入损耗的方法,是移相器向毫米波高频方向应用的创新,可以降低器件的功耗,改善插入损耗、隔离度、频带宽度等性能。介绍了用于射频的MEMS开关及基于MEMS开关的移相器的研究进展。
【作者单位】:上海交通大学微纳米科学技术研究院
【分类号】:TN623

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