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《2003'全国微波毫米波会议论文集》2003年
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微波近场技术在电子材料研究中的应用

冯一军  吴立勇  汪凯罗  姜田  
【摘要】:利用微波近场技术可以研究材料表面电磁性质的空间分布。本文报导了我们研制的扫描微波近场显微镜,通过建立可变温样品台,有效地扩展了微波近场显微镜的应用范围。利用扫描微波近场显微镜我们详细研究了金属薄膜、超导薄膜、介质、磁性材料等多种电子材料的电磁性质,给出了相关实验结果。研究表明微波近场技术为电子材料和器件电磁性质的空间分布检测提供了有利的手段。
【作者单位】:南京大学电子科学与工程系
【基金】:国家自然科学基金资助项目(No.69801004)
【分类号】:TN015;TN04

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