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《2011下一代自动测试系统学术研讨会论文集》 2011年
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一种基于电容传感器的无磁性位移测量系统研究

鲁云峰  赵建亭  贺青  钟青  
【摘要】:精密电磁测量领域中,会遇到一些实验系统或装置要求测量环境无磁性,传统的商用仪器往往不能满足该特殊要求:本文提出一种基于电容传感器的无磁性位移测量系统,对于要求无磁性的精密实验系统或装置提供高精度小量程位移参数的测量,满足精密电测领域的特殊要求;同时本文通过灵活设计电容式位移传感器测头,满足不同量程和精度需要,根据测量对象设计不同传感器测头,为特殊几何体的位移或角度测量提供一种方法和思路。本文设计的两个传感器其中一个满量程分辨力小于2nm,量程0.1mm,线性度4.15×10~(-3);另一个满量程分辨力小于19nm,量程1mm,线性度1.85×10~(-3)。

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