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《2010中国仪器仪表学术、产业大会(论文集2)》 2010年
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微透镜精确定焦方法及其验证

张鹏  曹学东  吴时彬  
【摘要】:由于微透镜具有焦深大的特点,在测量其焦距时难以实现精确定焦。利用数字图像处理技术的清晰度评价函数来进行定焦,可以大大提高定焦精度。为了测试清晰度评价函数定焦精度,建立了一套大透镜-微透镜共焦面装置。利用大透镜焦面作为基准,对清晰度函数确定微透镜焦面位置误差进行了测试。测试结果表明:对于相对焦深为5.5%的微透镜,采用清晰度评价函数定焦其相对定焦误差不超过0.24%。

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