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《第七届全国信息获取与处理学术会议论文集》 2009年
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纳米三坐标测量机误差检定方法研究

夏瑞雪  陈晓怀  
【摘要】:提出一种适用于微型高精度三坐标测量机的误差检定方法。使用三光束平面镜微型激光干涉仪作为高精度的标准量提供装置,对正在研制的新型纳米三坐标测量机的21项几何误差进行检定。以LabVIEW8作为虚拟界面编程平台,使用三次样条插值法对实验测得的几何误差值进行一维曲线插值和二维曲面插值拟合。

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