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《2009中国仪器仪表与测控技术大会论文集》2009年
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精密小角摆三维气浮工作台的研究

卢明臻  高思田  施玉书  杜华  崔建军  
【摘要】:精密运动平台是一项通用关键技术。在长度计量中,对运动平台在直线运动中附加的旋转误差提出了较严格要求。为了研制出符合要求的运动平台,本文研究了气体静压轴承承载特性、直线导轨设计原则、三维运动台布局等问题,充分利用气浮导轨精密、低摩擦的优点,完成了一个精密三维气浮台,实现三维全气浮结构和过质心驱动,保证50mm×50mm×2mm全行程内较小的旋转误差。测试结果表明,在X、Y、Z向驱动的情况下,工作台最大偏摆在0.82角秒左右,单轴最优偏摆在±0.04角秒之内,且重复性良好。该成果为计量应用提供了一个性能优良的三维位移平台。

【参考文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 赵慧洁,张广军;影响激光外差高精度计量的几个关键因素[J];北京航空航天大学学报;2002年02期
2 胡建兵,周云飞,朱红光,胡科峰,吴昊,刘可照;基于单边驱动的精密气浮工作台之振动分析与抑制[J];机床与液压;2004年06期
3 王春洪;张鸣;尹文生;朱煜;段广洪;程嘉;;双边驱动精密气浮工作台模型分析[J];机床与液压;2008年09期
4 孙西芝,陈时锦,程凯;空气静压导轨静态性能的解析计算及分析[J];机械设计与制造;2005年01期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 张从鹏;刘强;;直线电机气浮精密定位平台设计与控制[J];北京航空航天大学学报;2008年02期
2 王之栎;刘国西;郭艳丽;;反转轴间气膜密封动特性分析[J];北京航空航天大学学报;2010年05期
3 栾斌,张明,程宪春;润滑技术及发展[J];长春大学学报;2003年01期
4 朱维斌;李东升;;气体静压导轨气膜振动的数值模拟[J];测试技术学报;2009年02期
5 魏斯亮,贾玉红,林厚波;高速风洞气体支撑的设计研究[J];长沙交通学院学报;2005年02期
6 边新孝,李谋渭;静压空气轴承的动刚度和阻尼分析[J];轴承;2004年12期
7 卢志伟;刘波;张君安;;圆锥形螺旋槽气体动压轴承的数值分析[J];轴承;2008年08期
8 于雪梅;孙雅洲;卢泽生;;局部多孔质气体静压圆盘止推轴承压力分布的有限元计算[J];轴承;2009年12期
9 李华川;苏茜;;基于ANSYS的空气静压轴承有限元分析[J];轴承;2010年09期
10 杨铁林,孙旭光,李鹏飞,王益群;有限元素法在气动板形检测辊上的应用[J];燕山大学学报;2000年01期
中国重要会议论文全文数据库 前3条
1 于贺春;马文琦;王祖温;;环面节流静压气体圆盘止推轴承基于FLUENT的二维流场仿真分析[A];第五届全国流体传动与控制学术会议暨2008年中国航空学会液压与气动学术会议论文集[C];2008年
2 梁殿胜;苏冰;;轴承新材料的研究进展[A];2008全国功能材料科技与产业高层论坛论文集[C];2008年
3 屈福;赵志浩;左玉波;朱庆丰;崔建忠;;气体润滑技术在铝合金连铸中的应用[A];中国有色金属学会第十二届材料科学与合金加工学术年会论文集[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 于贺春;高速静压气体轴承—转子系统的特性研究[D];大连海事大学;2011年
2 刘峰;基于粘度可控水基润滑液的高速陶瓷滑动轴承主轴设计[D];天津大学;2010年
3 郭红;内外膜独立供油径推联合浮环轴承性能分析与实验研究[D];上海交通大学;2009年
4 杨利花;可倾瓦与弹性箔片动压气体轴承的性能研究[D];西安交通大学;2009年
5 崔大朋;一种球形气浮气动陀螺仪的研制及其相关技术的研究[D];哈尔滨工业大学;2011年
6 刘晶石;气浮陀螺仪干扰力矩影响因素研究[D];哈尔滨工业大学;2011年
7 刘礼平;基于机床附件化的旋转超声波加工关键技术研究[D];天津大学;2012年
8 谭为民;差线栅位移传感器原理与参数设计准则及其实验研究[D];重庆大学;2004年
9 陈海霞;计算机数据存储系统中读写头/盘间超薄气膜动力稳定性研究[D];华中科技大学;2004年
10 朱涛;极紫外光刻机工件台精密机械及控制相关技术[D];中国科学院研究生院(电工研究所);2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 吴定柱;多孔质气体静压止推轴承关键技术研究[D];中国工程物理研究院;2010年
2 贾长君;呼出气体酒精含量检测仪检定装置的实现[D];郑州大学;2010年
3 郭俊;轴承供气压力对转子振动性能影响的试验研究[D];辽宁石油化工大学;2010年
4 熊辉;声源定位系统中的信息采集及预处理技术研究[D];西安工业大学;2011年
5 周圣人;静压干气密封节流孔特性及端面热变形分析[D];西华大学;2011年
6 刘福强;高压气体球轴承的流场特性研究[D];大连海事大学;2011年
7 周超;基于高速精密电主轴的气体静压轴承—转子系统的研究[D];大连海事大学;2011年
8 郭永红;数控车床静压气体轴承主轴系统动力学建模及静特性研究[D];东北林业大学;2011年
9 张波;直线驱动式精密静压气浮平台的稳定性分析与实验研究[D];广东工业大学;2011年
10 舒鹏程;超高速空气静压电主轴的动静态性能分析与实验研究[D];广东工业大学;2011年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 朱煜,尹文生,段广洪;光刻机超精密工件台研究[J];电子工业专用设备;2004年02期
2 叶云岳;国内外直线电机技术的发展与应用综述[J];电器工业;2003年01期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 郭彤,胡春光,胡晓东,栗大超,陈津平,傅星,胡小唐;利用频闪成像方法进行微机电系统的计量[J];计量学报;2005年04期
2 ;计量学报1982年分类目录[J];计量学报;1982年04期
3 ;计量学报1992年分类目录[J];计量学报;1992年04期
4 赵午云,陶继忠,郭维强;用于动平衡机的球面气体轴承及其内部压力分布研究[J];液压与气动;2005年02期
5 Ю.В.Тарбеев;袁先富;;计量学的物理问题[J];国外计量;1983年01期
6 轼崙;;科学家与计量学命名——贝塞耳公式与贝塞耳[J];计量技术;1987年12期
7 ;计量学报1988年分类目录[J];计量学报;1988年04期
8 赵若江;ISO10012-1中有关术语的说明(一)[J];工业计量;1995年03期
9 黄震;刘彬;董全林;;基于激光多普勒技术的扭矩测量研究[J];计量学报;2007年01期
10 吴鲲;蒋希明;陈虹;张叶;林海;郭斌;;称重传感器型式评价试验[J];现代测量与实验室管理;2007年06期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 卢明臻;高思田;施玉书;杜华;崔建军;;精密小角摆三维气浮工作台的研究[A];2009中国仪器仪表与测控技术大会论文集[C];2009年
2 王铁军;王景辉;邢波;;表面温度计的校准与STS-400表面源[A];2007'仪表,自动化及先进集成技术大会论文集(二)[C];2007年
3 刘雯;张卫东;沈妮;;再论经纬仪质量评定的最佳技术指标[A];2007'中国仪器仪表与测控技术交流大会论文集(二)[C];2007年
4 郭彤;陈兴;;气体标准装置比对[A];第二十一届中国(天津)’2007IT、网络、信息技术、电子、仪器仪表创新学术会议论文集[C];2007年
5 明晓;钟伟;;纺锤体流量计的原理及特性[A];企业计量测试与质量管理——中国科协2005年学术年会论文集[C];2005年
6 施玉书;高思田;卢明臻;崔建军;杜华;;新型纳米级倍光程激光干涉系统[A];2007'中国仪器仪表与测控技术交流大会论文集(二)[C];2007年
7 邵宏伟;方占军;孟飞;王强;张行;刘香斌;邹玲丁;沈雪萍;;可调谐半导体激光(ECDL)在超精密测距上的应用[A];2007'中国仪器仪表与测控技术交流大会论文集(二)[C];2007年
8 陈如冰;吴向东;;温湿度计校准结果的不确定度分析[A];2008年江苏省计量测试学术论文集[C];2008年
9 颜黄苹;黄元庆;;微/纳制造与微/纳测量技术综述[A];福建省科协第五届学术年会数字化制造及其它先进制造技术专题学术年会论文集[C];2005年
10 穆文朝;张军;;碎石机故障与检修[A];海峡两岸医疗仪器学术会议论文集[C];1995年
中国重要报纸全文数据库 前2条
1 李山;德在零重力下获得玻色—爱因斯坦凝聚态[N];科技日报;2010年
2 记者 蒋建科;我国激光计量研究达到国际领先水平[N];人民日报;2005年
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 郭军;激光干涉表面形貌测量系统及3D-MOTIF评定研究[D];华中科技大学;2004年
2 韩冰;焦耳天平(量子质量基准)的磁场系统研究[D];天津大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前6条
1 李伟;基于LabVIEW的脊柱三维运动定位系统研究[D];四川大学;2007年
2 刘雁;伽马射线立体定向全身治疗设备研制[D];四川大学;2006年
3 朱定见;三维整体切割式测量头系统的研究[D];华中科技大学;2005年
4 王英翘;三维微操作运动及定位控制的研究[D];大连理工大学;2002年
5 白山;基于低温辐射计的探测器光谱响应度相关测量技术研究[D];中国计量科学研究院;2012年
6 陈超;高精度气体流量标准装置的建立[D];天津大学;2012年
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